Тимошенков Сергей Петрович

доктор технических наук, профессор 

Краткая биография
Родился в 1957 году. В 1981 г. закончил МИЭТ. С 1984 г. работает в МИЭТе. В 1994 г. — кандидат технических наук. В 2004 г. — доктор технических наук. С 2005 г. — заведующий кафедрой микроэлектроники. С 2007 г. — профессор. В 2007 г. — Лауреат Премии Правительства РФ.

Читаемые курсы: Микроэлектромеханические системы, Физико-химические основы структур кремний на изоляторе, Детали электронной аппаратуры, Технология деталей и узлов ЭВС, Компоненты микросистемной техники, Сенсоры

Научная деятельность
Направления исследований и разработок: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов микро- и наноэлектроники, микросистемной техники; Разработка конструкций и технологий изготовления малогабаритных преобразователей линейного ускорения (микроакселерометров), угловой скорости (микрогироскопов), инклинометров, микроповоротных зеркал, систем позиционирования и элементов навигационных блоков, блоков инерциальной информации на основе кремниевых чувствительных элементов; Изучение физико-химических процессов химического, плазмохимического травления микроэлектронных материалов, процессов сращивания и формирования многослойных, сложнопрофильных структур для микроэлектроники и микросистемной техники; Исследование и разработка базовых и технологических процессов изготовления структур КНИ и чувствительных элементов (ЧЭ) датчиков физических величин; Разработка технологии изготовления и сборки ЧЭ МЭМС.